Item	Spec
濺鍍機 Sputter coater	適用金屬靶材: 黃金(Au), 白金(Pt) 鍍膜形式: DC二級直流濺射 主機尺寸: 桌上型307 mm(L) * 260 mm(W) * 260 mm(H) 電源: 110V/60 Hz (訂購前選擇) 樣品腔體: 直徑160 mm, 高120 mm 最長可鍍時間: 3600s 靶材位置: 上方電極
油式幫浦 Oil pump	抽氣: 142 L/min (含油氣過濾) 電源: 110V60Hz / 220V 50Hz 雙切換
隨附靶材 Target	隨機附白金靶材或黃金靶材(訂購前選擇) 直徑: 50 mm, 厚度: 0.1 mm

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